產(chǎn)品經(jīng)理
姓名：韓碩
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皮秒振動計 PICOSCALE
PICOSCALE
PICOSCALE 皮秒振動計專為微型機械結(jié)構(gòu)的精密模態(tài)分析而設(shè)計，集成高分辨率共聚焦顯微鏡與激光干涉儀，實現(xiàn)非接觸式測量。它支持高達 2.5 MHz 帶寬、亞皮米級分辨率，可同時獲取平面外振動與平面內(nèi)頻閃圖像，是 MEMS、傳感器及微型致動器研發(fā)與測試的出色工具。
PICOSCALE 振動計：高級模態(tài)分析的高分辨率解決方案
PICOSCALE 測振儀是測量尺寸從幾微米到幾厘米的微型機械結(jié)構(gòu)振動的全套解決方案。其應(yīng)用包括微機電系統(tǒng)、傳感器、微型揚聲器以及軸承和致動器的測試。由于該設(shè)備配備了集成顯微鏡，可測量多達 100 萬個像素，因此非常適合以高空間和時間分辨率觀察振動模式。
- 用光進行非接觸式測量
- 掃描激光干涉儀，用于測量平面外運動（激光束方向）
- 測量帶寬高達 2.5 MHz（10 MHz 采樣率），分辨率低于 1 pm
- 集成紅外共聚焦顯微鏡，光學(xué)分辨率高達 2 μm
- 封裝微機電系統(tǒng)的模態(tài)分析
- 平面內(nèi)運動的頻閃成像（垂直于激光束方向）
- 全套儀器，帶振動臺
