直線位移臺

SmarAct 提供多款線性定位平臺，涵蓋從超緊湊型到長行程的多種系列。所有組件均實現完全兼容，用戶可靈活組合成復雜多軸系統。產品采用交叉滾子軸承、壓電驅動或電磁直驅等技術，滿足高剛性、納米級定位及高運行時間等不同需求。

納米探針 SMARPROBE

SMARPROBE 納米探針系統采用全閉環控制運動技術，實現無與倫比的重復性和穩定性，消除漂移和手動校正，讓復雜測量更快、更可靠。支持4至8個機械手，配備納米分辨率光學編碼器，兼容多種FIB/SEM和光學顯微鏡，是半導體失效分析實驗室的出色工具。

旋轉臺

SmarAct 旋轉臺系列基于不同的驅動技術，提供高精度且連續無限制旋轉的定位解決方案。這些旋轉臺可輕松組合成復雜系統，如萬向節或多軸定位器，并支持高壓、超高真空及完全無磁版本，適用于廣泛的應用場景。其堅固的軸承和多樣的開口尺寸設計，確保了卓越的耐用性和靈活性。

皮米干涉儀 PICOSCALE

SmarAct 推出的 PICOSCALE 干涉儀，以皮米級分辨率和無與倫比的精度，重新定義了位移測量技術。該邁克爾遜干涉儀支持非接觸式測量，并提供適應真空、低溫等極端環境的緊湊傳感器頭，同時具備強大的固件模塊與配件，可滿足從實驗室到 OEM 集成的多樣化需求。

高負載臺

SmarAct的CHS和SHL系列直線位移臺專為高負載應用設計，采用驅動楔塊實現高分辨率運動，獨立導軌確保直線位移并支持位置傳感器集成，實現閉環控制。平臺結構緊湊，可組合成多軸系統，在空間受限環境中也能高效處理重載荷。

皮秒振動計 PICOSCALE

PICOSCALE 皮秒振動計專為微型機械結構的精密模態分析而設計，集成高分辨率共聚焦顯微鏡與激光干涉儀，實現非接觸式測量。它支持高達 2.5 MHz 帶寬、亞皮米級分辨率，可同時獲取平面外振動與平面內頻閃圖像，是 MEMS、傳感器及微型致動器研發與測試的出色工具。

弧度臺

SMARSLIDE系列CGO型弧度臺專為小角度（±5°）高精度旋轉應用而設計，提供兩種半徑規格，可堆疊組合成具有公共旋轉中心的歐拉弧度臺，兼具緊湊與高剛性。該系列支持可更換驅動單元，并兼容模塊化系統，可輕松與直線臺、旋轉臺集成，構建多維串聯系統，滿足復雜定位需求。

光電編碼器 METIRIO

METIRIO®是同類產品中最小的光電編碼器，專為閉環納米定位設計，實現極致微型化、高分辨率與高速性能。讀頭采用模塊化OEM設計，可集成于定制外殼，簡化集成流程。該編碼器支持低功耗與超高真空環境，配備圖形化軟件，參數可存儲于內部存儲器，是精密運動控制與納米定位的出色選擇。

光機電一體化

SmarAct 的光機電一體化定位系統以微型化、高精度和模塊化設計，為光學領域復雜實驗與裝置提供出色解決方案。結合定位傳感器，可實現閉環位置控制，適用于自動化或遠程控制的實驗環境。所有組件均支持高度定制，并可選配高真空、超高真空或黑色陽極氧化版本，滿足嚴苛的真空與光學反射要求。

定位系統

SmarAct 提供從平面到復雜 3D 任務的高精度定位系統，涵蓋六足機器人、模塊化系統、SEM 平臺及電動光機等多種解決方案。其模塊化設計允許靈活組合與重新配置，確保精準應對您的特定定位挑戰，實現完全滿意。無論是微觀樣品操作還是光學實驗，SmarAct 均能提供納米級精度的可靠定位。