半導(dǎo)體檢測(cè)涵蓋多種技術(shù)，其中部分技術(shù)借助激光器對(duì)制造過(guò)程中的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行計(jì)量與檢測(cè)。相關(guān)檢測(cè)手段包括干涉測(cè)量、橢偏測(cè)量、顆粒分析、光致發(fā)光、熒光與拉曼光譜等。

干涉測(cè)量

干涉測(cè)量通常用于測(cè)量襯底的平整度。相干激光束照射晶圓表面后，反射光形成干涉圖樣并加以分析。獲取可靠的干涉圖樣要求激光器具備良好的光束質(zhì)量、長(zhǎng)相干長(zhǎng)度以及優(yōu)異的波長(zhǎng)與指向穩(wěn)定性。

橢偏測(cè)量

橢偏測(cè)量是一種用途靈活的技術(shù)，可分析多種材料性質(zhì)，例如成分、粗糙度、結(jié)晶特性、摻雜濃度、電導(dǎo)率與折射率。該技術(shù)基于分析入射光與被研究材料相互作用過(guò)程中偏振態(tài)的變化。雖然光學(xué)技術(shù)受衍射極限的固有約束，橢偏測(cè)量通過(guò)利用相位信息（偏振態(tài)），能夠提供比所用光波長(zhǎng)更薄的薄層信息，從而實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率。

激光器特性

HÜBNER Photonics用于半導(dǎo)體檢測(cè)中干涉測(cè)量與橢偏測(cè)量的激光器為Cobolt二極管泵浦激光器（DPL）。此類激光器本質(zhì)上為單頻運(yùn)轉(zhuǎn)，具備優(yōu)異的功率穩(wěn)定性、光束輪廓與低噪聲特性。

相關(guān)產(chǎn)品

Cobolt 04-01系列為單頻連續(xù)波二極管泵浦激光器，波長(zhǎng)457–1064 nm，功率25–400 mW，適用于拉曼光譜、顯微鏡、激光多普勒測(cè)速與動(dòng)態(tài)光散射。

Cobolt 05-01系列為高功率單頻連續(xù)波二極管泵浦激光器，波長(zhǎng)320–1064 nm，功率10 mW–3 W，適用于全息術(shù)、拉曼光譜、顯微鏡、流式細(xì)胞術(shù)與科研。

Cobolt 08-01系列為緊湊型窄線寬激光器，波長(zhǎng)375–1064 nm，功率20–800 mW，適用于拉曼光譜、干涉測(cè)量與動(dòng)態(tài)光散射。