產(chǎn)品經(jīng)理
姓名：薛澤東
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Acton準(zhǔn)分子與紫外激光反射鏡
面向高能準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)的多層介質(zhì)膜反射鏡：兼顧高反射率與高損傷閾值，覆蓋 126–353 nm 全譜段
Acton準(zhǔn)分子與紫外激光反射鏡采用多層介質(zhì)鍍膜技術(shù)，專為高能準(zhǔn)分子激光器設(shè)計(jì)。鍍膜在滿足高損傷閾值的同時(shí)實(shí)現(xiàn)高反射率，覆蓋126nm至353nm多種典型波長。基于四十余年經(jīng)驗(yàn)，可依客戶光譜、偏振及應(yīng)用要求定制，垂直入射與45°入射反射鏡常備庫存，支持快速交付。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于視力矯正系統(tǒng)、半導(dǎo)體計(jì)量及材料加工領(lǐng)域。
產(chǎn)品定位與設(shè)計(jì)要點(diǎn)
此類反射鏡為多層介質(zhì)鍍膜反射鏡，面向高能準(zhǔn)分子激光器使用。鍍膜在滿足高損傷閾值要求的同時(shí)實(shí)現(xiàn)較高的反射率。依托四十余年的準(zhǔn)分子鍍膜設(shè)計(jì)與開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，可按客戶的光譜、偏振及應(yīng)用要求進(jìn)行定制設(shè)計(jì)。光束轉(zhuǎn)折鏡與垂直入射反射鏡常備庫存，可快速交付。準(zhǔn)分子光學(xué)元件具備批量供貨能力，并可借助高技能技術(shù)人員與潔凈室設(shè)施，提供可直接安裝的光學(xué)組件。鍍膜可施加于標(biāo)準(zhǔn)鏡坯、定制基底以及客戶自供材料之上。
規(guī)格與型號(hào)對(duì)照
垂直入射指 0° 入射，45° AOI 指 45° 入射。型號(hào)分為 1.0 英寸與 2.0 英寸兩種規(guī)格。
| 波長 | 反射率指標(biāo)（垂直入射） | 反射率指標(biāo)（45° 入射） |
|---|---|---|
| 126 nm | ≥ 55% | ≥ 50% |
| 147 nm | ≥ 75% | ≥ 70% |
| 157 nm | ≥ 89% | ≥ 87% |
| 172 nm | ≥ 93% | ≥ 90% |
| 193 nm（e 設(shè)計(jì)） | ≥ 98% | ≥ 97% |
| 248 nm | ≥ 98% | ≥ 97% |
| 308 nm | ≥ 98% | ≥ 97% |
| 353 nm | ≥ 99% | ≥ 98% |
對(duì)應(yīng)的 1.0 英寸型號(hào)均以 -1D-MB 結(jié)尾，2.0 英寸型號(hào)均以 -2D-MB 結(jié)尾。以 193 nm 為例，垂直入射型號(hào)為 M193-FRe-1D-MB 與 M193-FRe-2D-MB，45° 入射型號(hào)為 M193-FR45e-1D-MB 與 M193-FR45e-2D-MB；126 nm 垂直入射型號(hào)為 M126-FR-1D-MB 與 M126-FR-2D-MB，45° 入射型號(hào)為 M126-FR45-1D-MB 與 M126-FR45-2D-MB，其余波長依此命名規(guī)律構(gòu)成。
鍍膜性能優(yōu)勢
核心優(yōu)勢體現(xiàn)為最高的損傷閾值與更長的使用壽命，鍍膜品種齊全，覆蓋準(zhǔn)分子激光的全部典型波長，即 157 nm、193 nm、248 nm、308 nm 與 353 nm。
典型應(yīng)用場景
主要應(yīng)用于準(zhǔn)分子激光視力矯正系統(tǒng)（LASIK）、半導(dǎo)體激光與計(jì)量系統(tǒng)，以及材料加工領(lǐng)域。
實(shí)測鍍膜曲線
提供以下反射率曲線：126 nm 全反射鏡（15°、45°）、146 nm 全反射鏡（15°、45°）、157 nm 全反射鏡（15°、45°）、172 nm 全反射鏡（15°、45°）、193 nm 全反射鏡（15°、45°）、248 nm 全反射鏡（15°、45°）、308 nm 全反射鏡（15°、45°）、353 nm 全反射鏡（15°、45°），以及 248–633 nm 全反射鏡（15°、45°）。
配套產(chǎn)品
標(biāo)準(zhǔn)鏡坯與寬帶增透鍍膜窗口可與上述反射鏡配套使用。
